在三坐标测量机中垂直度的要素一般为直线和平面。基准要素一般为平面，当然也可以是直线。垂直度评价直线之间、平面之间或直线与平面之间的垂直状态。其中一个直线或平面是评价基准，而直线可以是被测样品的直线部分或直线运动，平面可以是被测样品的平面部分或运动轨迹形成的平面。

三坐标测量机能从三维空间的不同方向来对工件进行数据采集和计算。所以是测量垂直度比较理想的设备。

三坐标测量机中的图例：

指示线的箭头表示的圆柱的轴线应在垂直于基准平面A的、直径0.01mm的圆柱内。